Lappolishing gép alkalmazása
A lepattanó és polírozó gépek kritikus eszközök a precíziós felületi tervezésben. Az ultra - lapos felületek, a szoros vastagságtűrés és a finom felületi kivitel elérésére tervezték, ezek a gépek alapvető szerepet játszanak a magas - technológiai iparban. Az alábbiakban bemutatjuk a - fő alkalmazásuk mélység áttekintését:
Félvezető ostya feldolgozása
A lapping és a polírozás kulcsfontosságú lépések a félvezető szubsztrát előkészítésében. Az epitaxiális növekedés vagy az eszköz gyártása előtt a szilícium ostyának tökéletesen laposnak és felszín alatti károsodásoktól mentesnek kell lenniük. A lappapírást a fűrészkárosodás és a vastagság helyes változásainak eltávolítására használják, míg a polírozás - szabad tükörfelületet hoz létre a magas- hozamtermeléshez.
Általában feldolgozott anyagok:
- Szilícium (SI)
- Gallium arzenid (GAAS)
- Szilícium -karbid (sic)
- Zafír
Az alkalmazások tartalmazzák:
- IC gyártás
- MEMS eszköz szubsztrátok
- Erő elektronika
Optikai alkotóelemek gyártása
Az optikai rendszerekben a felületi pontosság és a befejezés közvetlenül befolyásolja a fényátvitelt és a képminőséget. A lappirító és polírozó gépeket ultra - lapos lencsék, prizmák, tükrök és ablakok előállítására használják. Ezeknek az alkatrészeknek meg kell felelniük a szigorú felületi érdesség -követelményeknek (gyakran RA 5 nm alatt), és meg kell őrizniük a szoros párhuzamosságot és a síkosságot.
Általános optikai anyagok:
- Olvasztott szilícium -dioxid
- BK7 üveg
- Cink szelenid (ZNSE)
- Kalcium -fluorid (CAF₂)
Iparágak szolgáltak:
- Lézeres optika
- Infravörös és ultraibolya képalkotás
- Űrrepülési navigációs rendszerek
- Orvosi képalkotó eszközök
Kvarc és piezoelektromos eszköz gyártása
A kvarc és más piezoelektromos anyagok magas - pontosságú vastagságvezérlést és alacsony felületi feszültséget igényelnek a frekvencia stabilitásának biztosítása érdekében. A lappártyákat használják a vékony kristálynyílások kialakításához, míg a polírozás biztosítja az elektróda lerakódásának és csomagolásának sima felületét.
Jellemző alkalmazások:
- Oszcillátor kristályok
- Felszíni akusztikus hullám (fűrész) eszközök
- Nyomásérzékelők
- Ultrahangos átalakítók
Fém- és kerámia alkatrészek befejezése
Kemény fémek és fejlett kerámia -, például volfrám -karbid, alumínium -oxid és cirkónium -({1}}) gyakran igényelnek és polírozást igényelnek a pontos dimenziók és a jobb kopásállóság elérése érdekében. Ezeket a felületeket általában magas - precíziós mechanikus szerelvényeknél használják, és viselik a - hajlamos környezetet.
Példák a következők:
- Mechanikus tömítések
- Pontossági mérőeszközök
- Szelep alkatrészek
- Űrrepülőkurbina pengék
LED és összetett félvezető szubsztrátok
A LED és az optoelektronikus eszköz előállításában alkalmazott szubsztrátok elvékonyításához és planerizáló szubsztrátokhoz elengedhetetlenek. Az olyan anyagoknak, mint a zafír, a GAN és az INP, meg kell felelniük a szigorú laposságnak és a párhuzamossági előírásoknak a jó epitaxiális réteg növekedésének biztosítása érdekében.
Kulcsfontosságú alkalmazások:
- Kék és fehér LED -es szubsztrátok
- Fotonikus és lézerdióda ostyák
- Optikai érzékelők
Üveg és kemény kristályfeldolgozás
A magas - end órás üveg, okostelefon -burkolatok és speciális optikai szűrők gyakran olyan kemény anyagok polírozását magukban foglalják, mint a Corundum (zafír), a Gorilla Glass vagy az Ultra- vékony üveglapok. A lapozó és polírozó gépek biztosítják a szükséges irányítást a tisztaság és a dimenziós pontosság fenntartásához.
Kutatás és anyagtudomány
A laboratóriumokban a lapozó és polírozó gépek nélkülözhetetlenek a minták előkészítéséhez a mikroszkopikus elemzéshez, a felületi jellemzéshez és a meghibásodás elemzéséhez. A következetes felületminőség elengedhetetlen a pontos SEM, TEM vagy AFM eredményekhez.
A felhasználási esetek között szerepel:
- Metallográfiai minta előkészítése
- Vékonyréteg -szubsztrát befejező
- Cross - metszet polírozás mikroszkóppal